Ce microscope électronique à balayage CAMBRIDGE, modèle S360, est constitué d'une colonne électronique avec un canon à filament de tungstène (source d'électrons fonctionnant par effet thermoélectronique). Il comprend également un système de pompage à 2 étages pour un vide meilleur que 3.10-6 mbar. Le pupitre de contrôle vient compléter l'ensemble. Cet instrument était doté d'un système informatique offrant de nombreuses possibilités pour l'époque. Le système de vide comprend une pompe turbo-moléculaire en remplacement des pompes à diffusion d'huile pour un vide plus propre (sans vapeur d'hydrocarbures polluante pour les objets et l'instrument). La colonne permet de focaliser sur la surface de l'objet, le faisceau d'électrons accélérés par une tension électrique. Cette tension peut varier entre 1Kv et 40Kv. Deux champs magnétiques permettent de déplacer ce faisceau sur l'objet. Le balayage synchrone de l'échantillon par un fin faisceau d'électrons et de l'écran d'observation par un second faisceau d'électrons, d'intensité proportionnelle au signal d'un capteur, fournit des images agrandies de la surface. Selon le détecteur sélectionné ces images apportent différents renseignements sur l'échantillon. Cet instrument permettait d'obtenir un grand nombre d'images grâce à des détecteurs nombreux : - Détecteur d'électrons secondaires pour une image topographique de l'objet - Détecteur d'électrons rétrodiffusés pour une image informant sur l'homogénéité chimique de la surface. - Détecteur de photons lumineux pour des images de cathodoluminescence renseignant sur les défauts et les impuretés dans les matériaux. - Détecteur de courant électrique absorbé par l'échantillon. - Détecteur dédié à la microanalyse chimique par l'utilisation des photons X émis par l'échantillon. La résolution de cet instrument à 40Kv de tension d'accélération était de 5 nm pour une image topographique en utilisant les électrons secondaires. Le grandissement maximum de cet instrument, rapport entre la surface balayée sur l'échantillon et sur l'écran d'observation, vaut 35000. Pour les observations, les échantillons doivent être conducteurs de l'électricité ou l'être devenus par métallisation (dépôt de carbone ou platine ou or')