Ce microscope électronique à balayage JEOL, de modèle JSM-5600, est constitué d'une colonne électronique avec un canon à filament de tungstène (source d'électrons fonctionnant par effet thermoélectronique). Il comprend également un système de pompage à 2 étages pour un vide secondaire. Le pupitre de contrôle vient compléter l'ensemble. La colonne permet de focaliser le faisceau d'électrons accélérés par une tension électrique sur la surface de l'objet. Deux champs magnétiques permettent de déplacer ce faisceau sur l'objet. Le balayage synchrone de l'échantillon par un fin faisceau d'électrons et de l'écran d'observation par un second faisceau d'électrons, d'intensité proportionnelle au signal d'un capteur, fournit des images agrandies de la surface. Selon le détecteur sélectionné ces images apportent différents renseignements sur l'échantillon. Ce microscope possède 3 détecteurs : - un détecteur d'électrons secondaires - un détecteur d'électrons rétrodiffusés - un détecteur dédié à une analyse cristallographique Le grandissement de cet instrument, rapport entre la surface balayée sur l'échantillon et sur l'écran d'observation, est faible pour ce type d'appareil. Ce microscope à balayage fonctionne dans une configuration géométrique particulière dans laquelle l'axe de la colonne forme un angle de 70° avec la surface de l'échantillon. Cette incidence rasante du faisceau permet, grâce aux électrons rétrodiffusés par la surface, d'obtenir une information cristallographique des grains de surface. Pour cela, on utilise un détecteur constitué d'un écran phosphore sensible aux électrons et d'une camera numérique. Cette information cristallographique renseigne sur la microstructure des cristaux ainsi que leurs orientations. Ceci pour des cristaux dont le volume est supérieur à un micromètre cube. Les images obtenues pour un échantillon de surface 40x30mm comportent plus d'un million de points d'analyse. Le processus d'acquisition est automatisé. Cet instrument permet également d'obtenir une image topographique de l'objet par l'utilisation d'un détecteur d'électrons secondaire. Des diodes sensibles aux électrons rétrodiffusées complètent l'information par une image informant sur l'homogénéité chimique de la surface. Les échantillons sont des lames de faible épaisseur collées sur un support. Leur surface est polie mécaniquement avec un très grand soin. Les échantillons sont souvent non conducteurs de l'électricité.